氣動調(diào)節(jié)閥膜片的形式主要有平膜片、垂鏈?zhǔn)侥て筒y膜片三種。平膜片又可按周邊是否固定支撐、中心是否開孔以及膜片區(qū)域受力分布狀況的不同等分為多種形式，其中最常用的是由周邊固定的等截面圓形薄板構(gòu)成的平膜片。垂鏈?zhǔn)侥て煽拷吘壧庨_槽的圓板構(gòu)成，其彈性應(yīng)變主要發(fā)生在邊緣環(huán)形槽處，常用這種膜片壓縮應(yīng)變管或柱來達到測壓目的。垂鏈?zhǔn)侥て挠仓行牟糠衷谑軌阂苿訒r接近平移，因此用于電容式傳感器或壓電式傳感器效果較好。波紋膜片壓有環(huán)狀同心波紋。為了增加膜片中心的位移可把兩個膜片焊在一起制成膜盒或進一步把數(shù)個膜盒串接成膜盒組。氣動薄膜調(diào)節(jié)閥膜片是圓形膜狀的彈性敏感元件。當(dāng)膜片的兩面受到不同的壓力（或力）的作用時，膜片向壓力低的一面應(yīng)變移動，使其中心產(chǎn)生與壓力差成一定關(guān)系的位移。